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反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究

傅新定  郑延芳  陈莉芝  任琮欣  蔡雪强  曲志敏  徐英明  李美月  
【摘要】:本文报道以无透镜傅里叶全息术变换记录的全息光栅作掩膜,应用反应离子束入射角控制光栅闪耀角,选择了合适刻蚀工艺参数,制得衍射效率为67%的SiO_2全息闪耀光栅。

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