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部分相干成像下的空间线宽确定

杨健  伍树东  王之江  
【摘要】:经过推导,得到部分相干照明条件下轴对称光学系统的直边阈值表达式;对有限扫描缝宽,也得到相应的直边阈值.提出确定阈值的方法;并对复振幅直达线条像进行数值计算,结果表明,阈值表达式与计算值相符,准确度达到0.01μm.

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