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MEMS器件及其在生物医学上的应用

杨永生  
【摘要】:介绍了MEMS技术的发展概况及MEMS器件在信息领域、传感领域、生物技术领域的应用,重点介绍了MEMS在生物医疗中的应用及未来发展的趋势。

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