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椭偏仪测量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究

刘崇进  沈家瑞  李凤仙  
【摘要】:本文阐述了漫反射系数和粗糙面薄膜的厚度,寻出了漫反射椭偏测量术的方程,实用中测量了湿敏元件的湿敏薄膜厚度。

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