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超光滑光学表面粗糙度的测定

徐德衍  沈卫星  林尊琪  
【摘要】:讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差,进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果。在Zygo Maxim 3D5700 表面轮廓仪上使用2-5 ×和20 ×Mirau 物镜测量rms 在0-3nm 左右的超光滑硅片,通过对每个取样区域数据16 次相位平均,再对多个取样区域高度数据平均,消除了仪器的系统误差,使超光滑光学表面粗糙度得到精确测量。并使用其它光学轮廓仪对样品做了验证测量。作为比较,在同样条件下测量了0-8nm 左右的光滑硅片。

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