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云纹法检测变线距光栅的线密度

朱向冰  何世平  付绍军  徐向东  陈瑾  洪义麟  
【摘要】:变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景 ,它的制作和检测方法尚未成熟 ,本文在介绍变线距光栅线密度变化规律的基础上 ,采用级数形式表达变线距光栅线密度 ,比较了几种测量方法后 ,将云纹法引入变线距光栅的检测中 ,从理论上介绍了几何云纹法和云纹干涉法 ,几何云纹法适合于线密度很低的光栅 ,云纹干涉法适合于线密度较高的光栅 ,云纹的密度反映了光栅的线密度 ,如果云纹非常密 ,精确地测量所有云纹的坐标比较难 ,可以用数云纹数目的方法测出光栅的密度变化 ,就变线距光栅的检测分别给出了有关理论公式 ,并给出实际测量中的光路和初步的结果 ,最后指出这种方法可以用在变线距光栅的加工中

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