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激光直写系统焦斑整形的研究

李凤友  李红军  卢振武  廖江红  
【摘要】:针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件 ( DOE) ,对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑 ,利用同一个 DOE加以整形的方法。模拟表明 :整形后焦斑的面形和边缘显著改善 ,衍射效率高于实用指标 ,提供一种改善系统分辨能力的有效途径。

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