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光栅尺动态测量仪

刘岩  龙科慧  王立朋  季思  
【摘要】:阐述了利用激光差外干涉法,检查光栅尺准确度的原理,并介绍了根据这一原理而研制成的“光栅动态测量仪”的特点。该仪器在2.2m范围内的测量准确度为±1.5μm并且在生产线上已经可靠地工作了三年。

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