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带铁磁薄膜悬臂板的磁场微感应器磁弹性特征研究

周又和  何琴淑  郑晓静  
【摘要】:对于在可变形非磁材料悬臂梁式板单表面粘贴可磁化材料薄膜所构成的磁场微传感器件结构 ,研究了其处在磁场环境中的磁弹性弯曲变形的磁场 力学特征 .为此 ,建立了由有限元方法分析磁场与有限差分法计算挠曲变形相结合来计算其结构在磁场中产生磁弹性变形的定量分析程序 .在此基础上 ,对于这一微传感结构的算例给出了其结构变形随外加磁场环境变化的磁场 挠度特征关系等定量结果 .结果表明 :微传感器件不仅可以测量出磁场的大小 ,而且给出了测量磁场矢量方向的可能性 .

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