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具有ITO/Ti_3O_5薄膜结构的高亮度AlGaInP LED

孙学智  白继锋  
【摘要】:采用ITO/Ti_3O_5薄膜结构作为高亮度AlGaInP LED的电流扩展层、窗口层、电流阻挡层和增透膜层。通过在电极下形成肖特基结,避免电极下方无效电流注入,提高局域电流密度。通过ITO/Ti_3O_5增透膜设计提升LED的光提取效率。具有该ITO/Ti_3O_5薄膜结构的主波长621 nm的高亮度AlGaInP LED芯片(150μm×150μm)较传统结构芯片发光强度提升40%,20 mA注入电流下,电压均值在2.1 V左右。

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