收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

难熔夹层金属提高NiSi薄膜热稳定性的新思路

黄伟  孙华  张利春  张树丹  许居衍  
【摘要】:首次给出了一种具有规律性的能用来提高镍硅化物热稳定性的方法。依据此方法,摸索出在Ni中分别以夹层金属掺入Pt、Mo、Zr、W金属来提高NiSi硅化物的热稳定性。概括总结了掺入难熔金属M后形成的三元镍硅化物Ni(M)Si热稳定性能。实验结果表明,Ni(M)Si硅化物薄膜四种镍硅化物薄膜有相同的热稳定性。以Ni/W/Ni/Si样品为例,经650~800℃快速热退火后,薄层电阻率保持较小值,小于3Ω/□。XRD衍射、Raman光谱和AFM分析表明,Ni(M)Si薄膜界面平整,该薄膜中只存在低阻NiSi相,而没有高阻NiSi_2相生成,从而将NiSi薄膜的低阻温度窗口的上限从700℃提高到800℃,使形成高阻NiSi_2相的最低温度提高到850℃。研制的高压Ni(M)Si/Si肖特基硅器件在650~800℃温度跨度范围内保留了NiSi/Si肖特基相近的整流特性,肖特基势垒高度分布在0.61~0.71 eV区间内,由此表明Ni(M)Si硅化物是令人满意的互连和接触材料。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 余花娃;杜亚利;王晶;严祥安;高宾;;退火温度对ZnO薄膜性能的影响[J];纺织高校基础科学学报;2009年01期
2 王桂文;姚辉璐;何碧娟;彭立新;黎永青;;单个血小板的拉曼光谱分析[J];光谱学与光谱分析;2007年07期
3 冯敏;王玉芳;王翚;曹学伟;蓝国祥;范秀菊;;柠檬酸与钛络合过程的拉曼光谱分析[J];光散射学报;2008年03期
4 张鼐;田作基;毛光剑;吴胜华;刘建宪;脱奇;;沥青包裹体的拉曼光谱特征[J];地球化学;2009年02期
5 曲梅花,李辉,徐艳娟,赫荣乔;人神经tau蛋白与DNA相互作用[J];生物化学与生物物理进展;2004年10期
6 姜爽;张英鸽;;原子力显微观察巯基反应剂对乙酰胆碱酯酶立体结构的影响[J];生物技术通讯;2006年02期
7 吴峰;蔡继业;;利用原子力显微镜识别成像[J];生物技术通讯;2006年04期
8 孙洋;董亚明;陈勇华;陈兆南;谭玲;邹军;周圣明;;新型掺杂LiAlO_2晶体衬底研究[J];人工晶体学报;2006年05期
9 ;世界最小发电机问世[J];自然与人;2006年03期
10 刘洁生;彭喜春;杨维东;;球形棕囊藻溶血毒素对兔红细胞作用的AFM观察[J];热带海洋学报;2007年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 彭昌盛;宋少先;;水化膜对原子力显微镜扫描图像的影响(英文)[A];第七届全国颗粒制备与处理学术暨应用研讨会论文集[C];2004年
2 叶志义;杨学恒;靳平;;P-selectin/PSGL-1分子间相互作用的原子力显微镜研究[A];重庆市首届工程师大会论文集[C];2004年
3 蒋俊光;蔡明军;郝先;单玉萍;王宏达;;活细胞膜蛋白定位的分子识别原子力显微镜研究简介[A];东北三省生物化学与分子生物学学会2008年学术交流会论文摘要[C];2008年
4 张亦奕;贺节;商广义;姚骏恩;;原子力显微镜及应用[A];第八次全国电子显微学会议论文摘要集(Ⅱ)[C];1994年
5 石玮;郭正洪;戎咏华;陈世朴;徐祖耀;;原子力显微镜测定马氏体相变切变角新方法[A];第十一次全国电子显微学会议论文集[C];2000年
6 李学丰;张高勇;董金凤;周晓海;洪昕林;严肖慈;罗明道;;原子力显微镜研究囊泡在云母表面形成的结构[A];中国化学会第十届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2004年
7 叶志义;张丽;范霞;;原子力显微镜研究加载速率对细胞弹性的影响[A];第九届全国生物力学学术会议论文汇编[C];2009年
8 张英朗;王丽娅;;原子力显微镜对角膜致病真菌基因芯片表面超微成像研究[A];第三届全球华人眼科学术大会暨中华医学会第十一届全国眼科学术大会论文汇编[C];2006年
9 鲁晶晶;景黎君;李尽义;韩瑞;方桂远;彭涛;张博爱;贾延劼;;Caveolin-1对大鼠骨髓间充质干细胞神经分化影响的原子力显微镜观察[A];中华医学会第十三次全国神经病学学术会议论文汇编[C];2010年
10 孙德兰;宋艳梅;朱传凤;潘革波;;用原子力显微镜观测植物细胞微管[A];中国植物学会七十周年年会论文摘要汇编(1933—2003)[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 章健;原子力与光子扫描隧道组合显微镜功能性样机[D];大连理工大学;2005年
2 金阳;可德胶(Curdlan)多糖分子构象及其衍生物的研究[D];上海交通大学;2007年
3 李立新;材料表面纳米尺度力学及电学特性的原子力显微镜研究[D];燕山大学;2006年
4 徐宗伟;原子力显微镜碳纳米管探针的制备及其检测性能研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
5 王飞;原子力显微镜微悬臂梁刚度测量研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
6 金燕;原子力显微镜用于核酸相互作用的研究[D];湖南大学;2004年
7 周虎田;骨髓源神经干细胞生物学特性的研究[D];第一军医大学;2005年
8 王永进;SOI光波导器件及其增透膜的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
9 孙伟;扫描探针显微镜生物成像研究与光镊的FDTD模拟[D];大连理工大学;2006年
10 曹永智;嵌段共聚物薄膜自组装有序纳米微结构的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄飞程;CD_8~+T细胞表面受体分析和骨形态蛋白对人乳腺癌细胞的作用及机理研究[D];暨南大学;2010年
2 于淼;癌细胞纳米力学性能测试方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 张晶;纳米材料表面形貌和粒径的原子力显微镜研究[D];吉林大学;2006年
4 张涛;原子力显微镜在材料和生命科学中的应用研究[D];大连理工大学;2008年
5 王宏霞;碳纳米管操控加工的研究[D];广东工业大学;2005年
6 刘济春;IPC-208B型原子力显微镜的镜体设计及其应用[D];重庆大学;2005年
7 原剑;大扫描范围原子力显微镜的研制[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2006年
8 王俊;原子力显微镜在材料成像和光存储中的应用[D];大连理工大学;2010年
9 林艺玲;成品汽油关键成分的拉曼光谱分析[D];浙江大学;2011年
10 谢斌;若干高分子复合纳米材料体系形貌与结构研究[D];吉林大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 毛黎 张巍巍;新法可同时操纵多个独立分子[N];科技日报;2010年
2 记者 钱铮;世界最小字母符号有多小[N];新华每日电讯;2008年
3 记者 何德功 毛磊 胡梅娟;揭开病毒糖衣伪装[N];新华每日电讯;2003年
4 记者 何德功;蛋白质结晶:太空归来待分析[N];新华每日电讯;2003年
5 孝文;科学家首次拍到病毒照片[N];江苏科技报;2009年
6 冯卫东;IBM开发出能清除纳米级机械磨损的方法[N];科技日报;2009年
7 本报记者 刘霞;唤醒分子“蜘蛛侠”[N];科技日报;2010年
8 何屹;德开发出通用DNA结构单位检测器[N];科技日报;2011年
9 张新兰;剑南春成为全国酿酒行业首家 获“国家认定企业技术中心”授牌企业[N];中国劳动保障报;2008年
10 上海师范大学工程食品研究所功能与复合食品添加剂研究室 胡国华 马正智 杨琴 王飞;复合稳定剂在乳制中的研究进展[N];中国食品质量报;2009年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978