收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

用于铁电存储器的PZT薄膜的制备与性能

林殷茵  汤庭鳌  黄维宁  宋浩然  
【摘要】:采用 MOD方法制得了具有纯钙钛矿结构和良好铁电性能的 PZT薄膜 ,典型 Pr、Ps、Ec值分别为 2 7μC/ cm2、4 4 μC/ cm2、10 .9k V/ mm,进一步分析表明 ,制备工艺对薄膜的析晶状态、晶粒尺寸和铁电性能有重大影响 ,析晶充分和大晶粒尺寸有利于获得较大的 Pr值

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 郭耀华,邵力为,陈国平,张浩康,刘洁美;S枪制备的SnO_2气敏薄膜分析[J];传感技术学报;1990年02期
2 刘梅冬,王培英,吴国安,陈志雄;溶胶-凝胶技术制备(Pb,La)TiO_3薄膜的实验研究[J];华中科技大学学报(自然科学版);1991年01期
3 刘付德,梁子南;氮化铝薄膜微波换能器的研制[J];应用科学学报;1991年02期
4 叶天水,郭享群,曾锦川;非晶态硒化镉薄膜瞬态光电特性[J];光子学报;1991年01期
5 陈秉玉,王连金,程先安;Fe-Cr-Al/Si非晶态薄膜的电阻-应力特性[J];航空学报;1991年08期
6 戴富贵;日本薄膜的性能[J];电子元件与材料;1991年03期
7 徐征;雷刚;李岚;华玉林;徐叙瑢;;新型交流薄膜电致发光器件的研究[J];光电子技术;1991年03期
8 林海安,吴冲若;气敏传感器集成化的研究[J];微细加工技术;1993年01期
9 王浩,陆金桂,邹积岩;薄膜机械强度测试方法[J];微细加工技术;1993年02期
10 骆如枋,陆玉萍,边伟勇,朱庆杨,陈羽男,李晓红,张建安;聚酰亚胺(PI)薄膜电容型湿度传感器的研制[J];应用科学学报;1993年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李健;韦习成;;PVD技术的新进展[A];'99摩擦学表面工程学术会议论文集[C];1999年
2 杨建华;刘志强;沈永秋;;精密零件减薄磷化新工艺研究[A];'99摩擦学表面工程学术会议论文集[C];1999年
3 李宇兵;刘文利;高建华;李蕾;裘南畹;;金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅰ)——气敏薄膜厚度效应的实验规律[A];第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集[C];2000年
4 方国家;王汉忠;木昌洪;吉向东;刘祖黎;;WO_3-SnO_2薄膜的溶胶-凝胶制备及其气敏特性研究[A];第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集[C];2000年
5 黄正兴;唐祯安;张红霞;沈玉秀;王庭峰;;微尺度热传导现象及其研究状况[A];第二届全国传递过程学术研讨会论文集[C];2003年
6 陈英;;聚丙烯流涎薄膜的生产技术和进展[A];中国包装技术协会研讨推广会暨塑料包装委员会第六届第三次年会论文集[C];2004年
7 刘鑫;赵全亮;张辉军;邱成军;;TiO_2薄膜氧传感器的制备与性能测试[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
8 刘刚;杨中华;夏兴顺;王从香;;铁氧体瓷棒真空镀膜技术[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
9 孙艳;马珩;段潜;陈静;戴宁;;溶胶—凝胶法制备三氧化钼电致变色薄膜的研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
10 黄佐华;吴雪忠;何振江;杨冠玲;;椭偏测厚仪数据处理软件设计[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 方应翠;镶嵌在SiO_2介质中的纳米晶Si的制备及其光致发光特性研究[D];复旦大学;2005年
2 杨杰;高分子量聚芳硫醚砜的合成及结构与性能研究[D];四川大学;2005年
3 牟宗信;非平衡磁控溅射沉积系统放电特性和沉积TiN_x薄膜应用研究[D];大连理工大学;2006年
4 余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
5 王晋生;加装长波高透过性薄膜的冷却顶板/置换通风系统实验与模拟[D];同济大学;2006年
6 魏向军;全反射相关的X射线荧光分析技术及其应用[D];兰州大学;2006年
7 薛庆忠;过渡金属-碳复合材料和复合纳米薄膜的磁电阻和电输运特性[D];清华大学;2004年
8 张滨;几种低维材料的制备、微结构与性能[D];东北大学;2006年
9 白秀琴;低温气相沉积薄膜及其摩擦学性能研究[D];机械科学研究总院;2006年
10 钱士强;TiNiPd高温形状记忆薄膜研究[D];上海交通大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 许喆;磁控溅射法制备硼薄膜和硼纳米线[D];燕山大学;2005年
2 孙佳佳;纳米TiO_2光催化性能的研究[D];燕山大学;2005年
3 李建庄;电沉积制备CuInSe_2和Cu(In,Ga)Se_2薄膜及性能表征[D];武汉理工大学;2005年
4 熊建锋;新型光催化材料的制备与表征[D];武汉理工大学;2005年
5 贯波;金纳米薄膜的制备及吸收光谱分析[D];吉林大学;2005年
6 李超;微型薄膜瞬态热流计的研制[D];北京工业大学;2005年
7 陈轶平;AlN薄膜的气相沉积及取向控制研究[D];北京工业大学;2005年
8 耿小艳;纳米二氧化钛及其掺杂薄膜的制备与性能研究[D];广东工业大学;2005年
9 卢晓英;超疏水高分子薄膜的制备与应用[D];吉林大学;2005年
10 刘纵曙;弹性聚四氟乙烯/热塑性聚氨酯多微孔薄膜的研制[D];北京化工大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 青青;聚乙烯拉伸回缩包装薄膜[N];中国包装报;2000年
2 ;中国PVDC高阻隔包装材料的先锋[N];中国包装报;2000年
3 湘雁;食品包装的发展趋势 可食[N];中国包装报;2000年
4 永宁;天源双向拉伸薄膜厂扩大规模 提高质量 拓展市场[N];中国包装报;2000年
5 ;韩国倾销导致我国行业损失惨重[N];中国包装报;2000年
6 刘巍;瓦格薄膜包装有限公司[N];中国包装报;2000年
7 杨;复合软包装基材的特性、应用及其开发[N];中国包装报;2000年
8 寇田;创新——让城市建筑更美丽[N];解放日报;2000年
9 张珂;不干胶标签的代名词“法森”[N];中国包装报;2001年
10 流沙;吹膜生产中的质量控制[N];中国包装报;2001年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978