收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

硅激光退火动力学

史永基  
【摘要】:本文研究了硅激光退火的基本动力学过程和温度梯度对硅喇曼光谱的影响.修正了喇曼测温公式,解决了喇曼散射实验与热熔化模型的矛盾,进一步支持了硅激光退火的热熔化模型.

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 刘世祥,朱美芳,姚德成,石万全;激光退火的机理[J];物理;1983年09期
2 邬建根,沈金萱,屈逢源,杨恒青,赵有源,高如芳;CW CO_2激光退火后离子注入硅片的性质研究[J];电子学报;1983年02期
3 鲍希茂,黄信凡,郭禾,张梅;在离子注入硅激光退火时引入缺陷[J];半导体学报;1983年06期
4 张培宁,丁乐礼;利用离子注入激光退火制作高效率多晶硅太阳电池[J];太阳能学报;1985年03期
5 邹世昌,林成鲁;半导体的激光表面处理[J];微细加工技术;1984年03期
6 邹世昌 ,B.I.Deutch ,柳襄怀 ,陈朝荣 ,林成鲁 ,吴恒显 ,陆世桢 ,沈振东;离子注入硅Nd-YAG连续激光退火[J];电子学报;1979年04期
7 王巧霞;;一种很有前途的退火工艺——激光退火[J];电子工业专用设备;1979年02期
8 许少龙;激光退火产生磁泡[J];激光杂志;1980年02期
9 姜润清,张燕,孙喻明;激光退火对碲镉汞电性能的影响[J];山东大学学报(自然科学版);2000年02期
10 卢励吾,许振嘉,蔡田海,阮圣央;硅中激光退火点缺陷的钝化/消除[J];半导体学报;1983年05期
11 刘传珍,杨柏梁,李牧菊,吴渊,张玉,李轶华,邱法斌,黄锡珉;激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究[J];液晶与显示;2000年01期
12 张魁武;;半导体激光退火原理[J];世界制造技术与装备市场;2008年01期
13 黄德修;激光微加工的未来[J];微细加工技术;1984年03期
14 宋马成;;半导体激光退火(Ⅱ)——实验现象的理论探讨[J];微纳电子技术;1981年04期
15 孙宝寅,刘玉兰,李文年,江剑平,王振明;离子注入型蓝光灵敏的光电探测器[J];半导体学报;1985年04期
16 王青圃,杨旭东,赵圣之,王公堂,程兴奎,岳书彬;掺钇非晶硅薄膜的激光退火[J];激光杂志;1989年01期
17 李美成,杨建平,王菁,陈学康,赵连城;脉冲激光制备硅基超薄PtSi薄膜[J];功能材料;2001年03期
18 A.E.Bell;陈桂英;;激光退火的评论与分析——第一部分:评述[J];微电子学与计算机;1981年04期
19 孙金坛,程国义,王和庆;射频离子辐射损伤的激光退火[J];激光杂志;1985年06期
20 钱佩信,林惠旺,陆永枫,李冬梅;高浓度注砷和注锑硅的连续氩离子激光退火研究[J];半导体学报;1985年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 徐二明;梁二军;;非晶硅薄膜激光退火的研究[A];第十四届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2007年
2 吴美华;李响琴;;饵激光点阵对浅表疤痕的治疗[A];第七届中国医师协会美容与整形医师大会论文集[C];2010年
3 余文林;曾海玲;曾东;苑凯华;李勤;;点阵铒激光治疗眶周皱纹的研究[A];中华医学会整形外科学分会第十一次全国会议、中国人民解放军整形外科学专业委员会学术交流会、中国中西医结合学会医学美容专业委员会全国会议论文集[C];2011年
4 余文林;曾海玲;曾东;苑凯华;李勤;;点阵铒激光治疗眶周皱纹的研究[A];中华医学会整形外科学分会第十一次全国会议、中国人民解放军整形外科学专业委员会学术交流会、中国中西医结合学会医学美容专业委员会全国会议论文集[C];2011年
5 曹梁;;点阵激光治疗眶周皱纹的临床疗效观察[A];中华医学会整形外科学分会第十一次全国会议、中国人民解放军整形外科学专业委员会学术交流会、中国中西医结合学会医学美容专业委员会全国会议论文集[C];2011年
6 ;成都点阵科技有限公司简介[A];频谱管理与监测系统建设研讨会论文集[C];2011年
7 田雪雁;徐征;;铁电薄膜退火方法的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
8 栾琪;高天文;;点阵激光在医学美容的研究进展[A];第七届中国医师协会美容与整形医师大会论文集[C];2010年
9 蔡茂季;费跃;莫晓岚;;点阵激光在面部疤痕中的运用[A];2011年浙江省整形美容学术会议论文汇编[C];2011年
10 李欢;孙茂印;汤晓安;谢耀华;;一种新的基于规则点阵的图像畸变校正方法[A];第二届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘传珍;低温多晶硅材料及其器件的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 李牧菊;高清晰度液晶显示用薄膜晶体管的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
3 李盛;导电高聚物中的载流子裂变和随机激光机理的研究[D];复旦大学;2005年
4 黄金英;高品质低温多晶硅薄膜晶体管的制作与周边一体化设计[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
5 孔令民;InAs自组织量子点的光学性质研究[D];厦门大学;2005年
6 余江;分形聚集生长过程的数值和理论研究[D];北京师范大学;1989年
7 蒋长军;反点阵阵列膜的结构和磁性[D];兰州大学;2007年
8 陈金伙;有机场效应晶体管的研究与试制[D];兰州大学;2006年
9 夏虹;有机电致磷光器件中的主—客体材料匹配及对器件性能的影响[D];吉林大学;2006年
10 鲍立;超深亚微米MOS器件RTS噪声研究[D];西安电子科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄俊;PECVD制备a-SiC:H薄膜及激光退火研究[D];厦门大学;2009年
2 宋长青;非晶硅薄膜的YAG激光退火技术研究[D];南京理工大学;2010年
3 马学见;离子注入铌酸锂波导的退火研究[D];山东大学;2008年
4 钱欢;非剥脱点阵激光治疗亚洲人皮肤凹陷型疤痕的临床研究[D];浙江大学;2011年
5 刘红荣;金属—氧化物界面结构的电子显微镜研究及电子动力衍射的应用[D];湘潭大学;2003年
6 敬小丽;数字图像处理技术在平面色谱和点阵检测中的应用研究[D];四川大学;2004年
7 王敏怡;采用二元光学元件的三维轮廓测量方法[D];苏州大学;2006年
8 李志东;LED显示屏控制系统及驱动程序的研究与设计[D];吉林大学;2005年
9 王春武;条形显示屏远程控制系统的设计与实践[D];吉林大学;2007年
10 翟百臣;扫描式摄影点阵控制技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 江西 王俊;基于8051的16×128LED点阵显示屏的设计与仿真实现[N];电子报;2009年
2 曹其玮;SDC技术突破 OLED产业重燃生机[N];电子资讯时报;2007年
3 武汉 李学龙;遥控LED点阵安全天数显示器[N];电子报;2008年
4 张庆;小小图标有学问[N];中国计算机报;2002年
5 余姚 冯浙军;点阵字符液晶显示模块驱动程序设计[N];电子报;2007年
6 湖南 王伟春;小型LED点阵显示屏硬件制作步骤[N];电子报;2008年
7 湖南 李杰;用VB6.0生成单片机LCD汉字显示程序[N];电子报;2002年
8 本报记者 林春生汪永安;循环热熔化“垃圾山”[N];安徽日报;2007年
9 陈哲祥 口述 潘素卿 整理;奇晶光电总经理陈哲祥:突破量产门槛 AMOLED魅力iPhone也难挡[N];电子资讯时报;2007年
10 陈晓禹记者 傅江平;标准汉字库芯片正式发布[N];中国质量报;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978