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微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟

李宝清  陆德仁  熊斌  卢平芳  何国鸿  鲍敏杭  王渭源  
【摘要】:本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计-微型静电悬浮Z向加速度计进行了计算机模拟。模拟中的Z向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作,利用静电悬浮原理平衡质量块,感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性,稳定特性,响应特性。对C-F转换电路的输出特性也进行了分析,该电路可用CMOS工艺集成在加速度传感器的周围。模拟结果表明该加速度计具有灵敏度高,抗冲击性能好的特点。

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