石英基片上(110)取向PLZT薄膜及其光学性能研究

【摘要】：在低成本的石英玻璃衬底上制备高性能电光薄膜非常有吸引力。本文采用溅射方法,并结合Pb3O4气氛退火工艺,在ITO/石英玻璃衬底上制备锆钛酸铅镧(PLZT 8/65/35)薄膜。结果表明:在优化工艺条件下,薄膜为(110)方向择优生长,表面均方根粗糙度为3.1nm,可见光范围内透过率为81.3%,消光系数为0.003。这种表面光滑和高光学性能的PLZT薄膜在集成光学和光电子器件具有重要的应用潜力。

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前20条

1	刘强;周浩淼;曲绍兴;;磁电多铁性复合材料磁电耦合性能有限元分析[J];材料科学与工程学报;2011年04期
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中国重要会议论文全文数据库

前10条

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6	程照溪;陈昕;陈相仲;沈群东;;铁电高分子拉伸和纳米压印中的结构演变和性能研究[A];中国化学会第28届学术年会第7分会场摘要集[C];2012年
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10	杨华;王伟鹏;县涛;;核-壳结构CoFe2O4/BaTiO3磁电纳米复合颗粒的制备[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库

前2条

1	徐刚;锆钛酸铅（PZT）及钛酸镧铋（BLT）的纳米粉体和一维纳米结构的合成、表征及其机理的研究[D];浙江大学;2004年
2	孙礼;氧化物纳米材料的磁性以及多铁特性研究[D];山东大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前7条

1	王春龙;铌酸锶钡纳米粉体与陶瓷的制备及性能[D];青岛大学;2006年
2	何聚;PLZT纳米陶瓷制备及掺杂改性研究[D];天津师范大学;2006年
3	刘东奇;Bi_2Fe_4O_9陶瓷的制备与电学性能研究[D];青岛大学;2010年
4	李宗晓;化学溶液沉积制备铁酸铋/氧化锌复合薄膜的电磁学研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
5	孔祥薇;钙钛矿纳米材料的磁性与其他性质研究[D];山东大学;2012年
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7	刘强;磁电多铁性复合材料磁电耦合性能有限元分析[D];浙江大学;2011年

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