石英基片上(110)取向PLZT薄膜及其光学性能研究
【摘要】:在低成本的石英玻璃衬底上制备高性能电光薄膜非常有吸引力。本文采用溅射方法,并结合Pb3O4气氛退火工艺,在ITO/石英玻璃衬底上制备锆钛酸铅镧(PLZT 8/65/35)薄膜。结果表明:在优化工艺条件下,薄膜为(110)方向择优生长,表面均方根粗糙度为3.1nm,可见光范围内透过率为81.3%,消光系数为0.003。这种表面光滑和高光学性能的PLZT薄膜在集成光学和光电子器件具有重要的应用潜力。
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刘强;周浩淼;曲绍兴;;磁电多铁性复合材料磁电耦合性能有限元分析[J];材料科学与工程学报;2011年04期 |
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