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大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作

王浙辉  李铁  王跃林  
【摘要】:报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作。模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起。在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是69.6μm,镜子的有效位移是57μm。测到第一模态频率是500Hz。利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾。这样的位移足够使用Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗。

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17 陈高庭;自锁型2×2和1×4光开关[J];激光与光电子学进展;2002年11期
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1 吴莉;新型磁光光开关[N];经济参考报;2003年
2 ;山东新型磁光光开关通过鉴定[N];今日信息报;2003年
3 胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
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6 中国物资储运协会供稿;仓库位移之后[N];国际经贸消息;2002年
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