YBCO外延薄膜的afterglow plasma溅射生长

【摘要】：Y1Ba2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导薄膜溅射生长所遇到的主要问题是负氧离子的反溅射效应。采用afterglowplasma溅射生长YBCO薄膜,有效地抑制了负氧离子的反溅射效应,从而生长出了超导性质优异的YBCO单晶薄膜,薄膜的临界电流密度JC(77K,0T)=7.6×106A/cm2,薄膜的微波表面电阻Rs(77K,10GHz)=206μΩ,薄膜(005)峰摇摆曲线半高宽(FWHM)为0.120。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	范俊;;网格掩膜技术消除激光脉冲沉积中的大颗粒[J];苏州大学学报(自然科学版);2011年03期
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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	陶伯万;罗安;刘兴钊;何世明;李言荣;;φ40mm双面YBCO高温超导薄膜均匀性研究[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
2	邵乐喜;黄惠良;;无Cd薄膜CuInS_2太阳电池的低成本全程溅射技术制作[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
3	王舟;王琦;张俊彦;;不同基底偏压对非晶碳薄膜摩擦学性能的影响[A];2009年全国青年摩擦学学术会议论文集[C];2009年
4	陈琨;王志红;张金平;周宇;;倾斜溅射制备TbFe薄膜的磁力显微镜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
5	刘建华;徐可为;;溅射气压对ZrO_2薄膜微结构与光学性能的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
6	申林;熊胜明;刘洪祥;李凌辉;张云洞;;氧化物激光薄膜的离子束溅射制备技术[A];第七届全国激光科学技术青年学术交流会专辑[C];2003年
7	申林;熊胜明;刘洪祥;李凌辉;张云洞;;双离子束溅射技术制备带通滤光片[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
8	徐立海;杨炜;王聪;;射频磁控溅射技术制备IT-SOFC电解质材料GDC的研究[A];第十二届中国固态离子学学术会议论文集[C];2004年
9	秦勇;朱勇;陈莉;李勇;张立得;;纳米NiTi合金的制备及结构[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
10	王波;王如志;黄安平;严辉;;磁控溅射AlN薄膜的制备及其结构特性研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	刘娟秀;YBCO高温超导薄膜器件研制及光化学/辐照特性研究[D];电子科技大学;2010年
2	陶伯万;3英寸YBCO双面超导薄膜的外延生长和均匀性研究[D];电子科技大学;2003年
3	蔡衍卿;高温超导材料液相外延生长过程中的取向控制以及热稳定性能的研究[D];上海交通大学;2008年
4	张黄莉;钇钡铜氧超导薄膜及其微细图形化新方法研究[D];西安理工大学;2009年
5	王文涛;无氟高分子辅助金属有机物沉积法制备高性能REBa_2Cu_3O_（7-z）超导薄膜[D];西南交通大学;2010年
6	秦玉洁;永磁轨道上高温超导块材YBCO的导向性能实验与仿真研究[D];西南交通大学;2009年
7	刘璐;YBCO块材组合在永磁轨道上方的动态性能实验研究[D];西南交通大学;2011年
8	杨德林;YBa_2Cu_3O_(7-x)氧扩散特性、应用及掺杂替代的基础研究——分子筛和透氧膜研究[D];郑州大学;2003年
9	郭亚军;轴瓦磁控溅射镀膜技术及其材料力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
10	马万云;用于超微量和微区分析的SIRI-TOFMS装置的研制[D];清华大学;1987年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	孙银洁;PET基氟碳膜形貌、结构及性能研究[D];青岛大学;2003年
2	张胜坤;电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制[D];河北大学;2005年
3	张乃枝;溅射法制备CeO_2-TiO_2薄膜的结构性能研究[D];武汉理工大学;2004年
4	路建军;PET基氟碳膜的表面形貌及结构研究[D];青岛大学;2002年
5	张西鹏;锆合金基体上直流磁控溅射铬膜组织与性能研究[D];四川大学;2003年
6	苏树发;锑及锑锡合金薄膜的电化学吸放锂性能研究[D];浙江大学;2005年
7	万真真;辉光放电等离子体激发源驱动控制电路设计[D];河北大学;2006年
8	朱东亮;原位外延生长YBCO薄膜及取向控制[D];苏州大学;2010年
9	肖山;直流溅射法制备YBCO带材研究[D];电子科技大学;2010年
10	戴邵康;液相源金属有机物化学气相法制备YBCO高温超导薄膜[D];电子科技大学;2010年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	曹燕平;杜邦-帝人薄膜公司安装使用多功能OptiLab溅射蒸镀机[N];中国包装报;2006年
2	王琦余华骏;低辐射镀膜玻璃的色差分析与检测[N];中国建材报;2005年
3	中国耀华玻璃集团公司技术中心主任刘志海;镀膜玻璃生产工艺及注意事项[N];中国建材报;2004年
4	记者张孟军;第二代百米高温超导导线问世[N];科技日报;2005年
5	本报记者冀卫平;钕铁硼，不要重蹈“煤”辙[N];山西日报;2001年
6	;电阻应变式纳米膜压力传感器[N];科技日报;2004年
7	罗清岳;无机EL发展及技术状况（下）[N];电子资讯时报;2006年
8	李禾;吕惠宾：让分子无处遁形[N];科技日报;2004年
9	张海波;东芝有“芯”查丙肝[N];医药经济报;2001年
10	;超导列车——德国的梦[N];科技日报;2004年

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