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性能优异的多功能宽禁带半导体AlN薄膜

黄继颇  王连卫  林成鲁  
【摘要】:作为具有优异介电性、压电性的宽禁带半导体材料,AlN是重要的电子封装材料、绝缘介质材料、声表面波材料和蓝光紫外发光材料。本文介绍了AlN材料结构特性、薄膜制备及应用的最新进展

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