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溶胶-凝胶方法制备PZT铁电薄膜材料的研究

饶韫华  刘梅冬  卢春如  王培英  吴国安  曾亦可  
【摘要】:本文介绍了用sol-gel方法制备PZT铁电薄膜的工艺,并指出采用快速热处理工艺能有效地防止薄膜开裂。比较了用3种不同锆盐原料制备的PZT薄膜的性能。实验结果表明,用无机盐硝酸锆制备的PZT铁电薄膜的性能最好。

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