收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

射频磁控溅射制备Mn掺杂ZnO薄膜的结构与光学性能

张欢欢  李智  苗春雨  马春雨  张庆瑜  
【摘要】:采用反应射频磁控溅射方法制备Zn1-xMnxO薄膜(0≤x≤0.25),并在不同温度下进行退火处理。通过原子力显微镜、薄膜X射线衍射、透射电子显微镜和透射光谱对薄膜的成分、表面形貌、微结构和光学性质进行了研究。结果表明,薄膜结晶质量明显地依赖于掺杂Mn元素的浓度,所有薄膜都表现了沿(002)晶面方向择优取向生长,当Mn含量为7%时,Mn完全进入ZnO晶格,无纳米级第二相析出,当Mn含量超过13%时,会有ZnMnO3杂相析出。Mn掺杂ZnO薄膜(Zn1-xMnxO,x≈0.07)经600~800℃退火处理后,薄膜的光学带隙发生蓝移,带隙能由3.17eV升高到3.27eV,当退火温度高于700℃时,薄膜中压应力得到释放。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 刘晓艳;曹健;郎集会;魏茂彬;刘洋;杨景海;;ZnS:Mn~(2+)/SiO_2的结构及光学性能研究[J];吉林师范大学学报(自然科学版);2011年03期
2 张静;张方辉;阎洪刚;;HAT-CN作为空穴注入层的高效白色荧光有机电致发光二极管(英文)[J];液晶与显示;2011年04期
3 吕健;;钨酸铅PbWO_4的电子结构和光学性质的第一性原理计算[J];河南大学学报(自然科学版);2011年04期
4 杨雪峰;史铁林;左海波;江轩;廖广兰;;基于严格耦合波理论的蝴蝶鳞翅分级结构光学特性研究[J];光学学报;2011年07期
5 郭红力;刘果;李雪冬;肖定全;朱建国;;两步法快速退火对PMN-PT薄膜结构和性能的影响[J];功能材料;2011年08期
6 蔡宏珂;周任君;傅云飞;郑媛媛;王英俭;;CALIOP对一次秸秆焚烧后气溶胶光学特性的探测分析[J];气候与环境研究;2011年04期
7 赵保星;周继承;荣林艳;彭银桥;;二氧化钛太阳能电池减反射膜结构和光学特性[J];中南大学学报(自然科学版);2011年07期
8 王艳;李健;卢建丽;;Sb掺杂Sn_2S_3薄膜的制备及光学特性[J];功能材料;2011年S2期
9 张海霞;楚兴丽;王天兴;;CdS,ZnO_(1-x)S_x电子结构和光学特性的第一性原理研究[J];科技导报;2011年20期
10 杨超宇;杨顶田;叶海彬;曹文熙;;水体校正模型在三亚湾的验证及分析[J];光谱学与光谱分析;2011年07期
11 张立;;准一维GaN纳米线中类氢杂质态光学特性[J];功能材料;2011年S4期
12 李丽丽;梁齐;史成武;孔明光;李兵;;脉冲激光沉积制备SnS薄膜及其光学特性的研究[J];真空科学与技术学报;2011年04期
13 李娇;温廷敦;;一维含负折射率光子晶体光学特性[J];硅谷;2011年15期
14 马晓敏;赵占霞;宋晨辰;赵磊;马忠权;;太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究[J];人工晶体学报;2011年04期
15 邬小鹏;傅竹西;;MgZnO薄膜的制备及其光电特性[J];功能材料;2011年09期
16 许占堂;杨跃忠;曹文熙;王桂芬;孙兆华;周雯;王林;;辽东湾海冰有色溶解有机物和颗粒物的光学特性[J];光学学报;2011年07期
17 闫金良;张易军;李清山;曲崇;张丽英;李厅;;射频磁控溅射法制备N掺杂β-Ga_2O_3薄膜的光学特性(英文)[J];光子学报;2011年06期
18 颜家振;黄婉霞;张月;何鹏;李宁;;云母表面不同厚度VO_2薄膜的红外光学特性[J];红外与激光工程;2011年07期
19 华广胜;布占场;郑效盼;李智;孙彦军;王贺陶;王伯长;王飞;颜凯;鹿堃;;低功耗液晶电视LED背光源设计[J];液晶与显示;2011年04期
20 周碧;张镭;曹贤洁;韩霄;张武;冯广泓;;利用激光雷达资料分析兰州远郊气溶胶光学特性[J];高原气象;2011年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 余雪;宋志国;杨正文;杨勇;赵宗彦;尹兆益;周大成;邱建备;;CaAl_2Si_2O_8:Eu荧光材料的光学特性及其自还原性能的研究[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年
2 郑美玲;陈卫强;李春芳;董贤子;段宣明;;硅氧烷类树枝状分子对激光染料分子光学特性的影响[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(下册)[C];2006年
3 毛宏霞;南华;马静;董雁冰;吴开峰;;姿态运动对空间目标光学特性的影响分析[A];2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会论文集[C];2007年
4 胡晓龙;张江勇;张保平;;GaN垒层厚度对InGaN/GaN单量子阱光学特性的影响[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
5 吴惠桢;徐晓玲;邱东江;何克明;寿翔;;用电子束反应蒸镀法制备的ZnO单晶薄膜的结构和光学特性[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
6 唐孝生;林岳;曾杰;王晓平;;花状纳米氧化锌颗粒的制备及其光学性能研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
7 余雪芳;邵晓阳;;杭州西湖冬季和春季光学特性的时空变化[A];中国海洋湖沼学会藻类学分会第七届会员大会暨第十四次学术讨论会论文摘要集[C];2007年
8 刘小林;张睿;鲍鸿吉;钟季康;;时域漫反射测量生物组织光学特性的方法研究[A];第五届全国光生物学学术讨论会论文摘要集[C];2000年
9 车慧正;张小曳;石广玉;;中国不同区域大气气溶胶的光学特性及其直接辐射强迫[A];中国气象学会2006年年会“大气成分与气候、环境变化”分会场论文集[C];2006年
10 黄忠伟;黄建平;;一种激光雷达反演气溶胶光学特性的有效算法[A];第26届中国气象学会年会人工影响天气与大气物理学分会场论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 曹琦;Ⅱ-Ⅵ族纳米半导体的光学特性的研究[D];南京理工大学;2004年
2 王玉新;硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究[D];长春理工大学;2005年
3 吕昊;梯度折射率球透镜的制备及其光学性能研究[D];长春理工大学;2009年
4 张建生;尾流的光学特性研究与测量[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
5 邓学良;卫星遥感中国海域气溶胶光学特性及其辐射强迫研究[D];南京信息工程大学;2008年
6 邬文俊;蝶翅微纳结构的光学特性及变色机理研究[D];华中科技大学;2012年
7 冯先进;高质量SnO_2薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2008年
8 伞海生;透明导电薄膜CdIn_2O_4的研究和高速光电探测器频响的测量[D];兰州大学;2006年
9 刘立华;硼碳氮薄膜的制备及性质研究[D];吉林大学;2006年
10 贾传磊;离子注入法与射频溅射法制备光波导的研究[D];山东大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 董志华;硅基SiC中间层辅助法合成GaN薄膜和纳米线的研究[D];山东师范大学;2005年
2 林方婷;纳米Fe基软磁合金的制备及微结构研究[D];华东师范大学;2005年
3 祁俊路;射频反应磁控溅射法制备Al_2O_3薄膜结构与性能的研究[D];合肥工业大学;2006年
4 高海永;ZnO薄膜的制备及氨化Ga_2O_3/ZnO薄膜合成一维GaN纳米结构的研究[D];山东师范大学;2005年
5 梁鸿秋;PLZT薄膜电学和光学性能及电光器件原理研究[D];电子科技大学;2007年
6 唐鹏举;纳米硅薄膜太阳电池本征层的制备及性能研究[D];华中科技大学;2007年
7 刘思鹏;射频磁控溅射制备TiB_2/TiAlN纳米多层膜和BaTiO_3薄膜的研究[D];天津师范大学;2009年
8 李娇;氧化锌纳米结构与薄膜的制备及光学特性研究[D];大连理工大学;2008年
9 侯海虹;氮化硅薄膜的螺旋波PECVD及其光学特性研究[D];河北大学;2003年
10 彭家根;PZT热释电薄膜材料的研究[D];电子科技大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 肖文;从玻璃实验室到科技公司[N];中国包装报;2009年
2 ;非破坏性快速检测技术在农业中的应用[N];科技日报;2007年
3 罗清岳;光学薄膜制程技术与应用[N];电子资讯时报;2006年
4 居珩;台湾制定发展辅导策略加速LED照明产业化[N];消费日报;2008年
5 ;picoChip加速WiMAX开发[N];计算机世界;2004年
6 陈明英 吴玲;影响光盘耐久性的主要因素[N];中国档案报;2005年
7 俞康泰;陶瓷专用相干色料开发势在必行[N];中国建材报;2004年
8 编译 杨孝文;神奇智能眼镜自动调节焦距[N];北京科技报;2006年
9 卢庆儒;高速光纤传输应用中元件技术趋势(3)[N];电子资讯时报;2007年
10 本报记者 冯卫东;纳米医学有了理想“金蛋”[N];科技日报;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978