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类金刚石薄膜的紫外辐照研究

刘贵昂  谢二庆  王天民  
【摘要】:对射频等离子体方法制备的类金刚石 (以下简称DLC)薄膜样品进行了紫外辐照。采用电阻率、Raman光谱及红外光谱研究了紫外光 (以下简称UV)辐照对DLC薄膜结构与特性的影响。Raman光谱表明 :紫外光对DLC薄膜中SP3C—H键的破坏作用非常明显 ,红外 (IR)光谱结果进一步验证了这一结果。经UV辐照后 ,DLC薄膜的电阻率呈变小趋势 ,这说明薄膜被强烈氧化 ,最后呈现石墨化趋势。

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