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Sol-Gel法硅基PZT铁电薄膜研究

张林涛  任天令  张武全  刘理天  李志坚  
【摘要】:介绍了以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁酯为原料用溶胶-凝胶(sol-gel)方法在硅衬底上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜的工艺流程。对铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质进行了分析,结果表明硅基PZT薄膜形成了良好的钙钛矿结构。并在此基础上实现了制备PZT铁电薄膜的低温改进工艺。

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5 王华;Si基Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的制备与特性研究[J];物理学报;2004年04期
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8 王华,于军,王耘波,周文利,谢基凡,朱丽丽;低温制备Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3铁电薄膜及其性能研究[J];功能材料;2001年03期
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16 顾豪爽,邝安祥,包定华,卢朝靖,王世敏;溶胶-凝胶工艺合成高取向PbTiO_3铁电薄膜的实验研究[J];无机材料学报;1993年01期
17 肖定全,朱建国;多离子束反应共溅射技术及铁电薄膜制备与应用[J];材料导报;2001年02期
18 周青春,徐荣青;无规成核型铁电薄膜开关电流的计算[J];华东船舶工业学院学报(自然科学版);2004年02期
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20 ;最新书讯[J];电子元件与材料;2010年07期
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1 宋世庚;符小荣;张锦文;龚健;陶明德;;Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜的研究[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
2 姜胜林;谢甜甜;曾亦可;李元昕;;Sol-Gel技术制备PST铁电薄膜及其电性能研究[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
3 代伍坤;朱满康;候育冬;王波;严辉;;BTS铁电薄膜的Sol-gel法制备[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
4 郭冬云;王耘波;于军;付承菊;高俊雄;李建军;陈万军;;Ag/Bi_(3.25)La_(0.75)Ti_3O_(12)/Bi_4Ti_3O_(12)/Si结构铁电薄膜制备及其铁电性能的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
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10 于艳菊;王福平;赵连城;;稀土Eu掺杂改性的PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3铁电薄膜[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
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1 尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
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1 闵乃本;科学的春天带来阳光雨露[N];科技日报;2008年
2 吴昌红 吴红梅;我省三十多个项目登榜[N];新华日报;2006年
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