收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

PECVD法沉积SiO_xN_y及其性质研究

徐宝琨  赵凤云  赵慕愚  
【摘要】:本文采用PECVD技术制备了SiO_xN_y薄膜。用光电子能谱仪和红外光谱仪等对薄膜的结构、组成和其它物理性质作了测量。对温度、功率等工艺参数对薄膜性质的影响作了研究。结果表明,该薄膜是一种非晶态无序结构的、具有良好的抗腐蚀和掩蔽特性的电绝缘介质膜。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 余云鹏,林璇英,林舜辉,黄锐;PECVD低温制备晶化硅薄膜及其机制浅析[J];汕头大学学报(自然科学版);2004年02期
2 于映,陈跃;氮化硅薄膜的PECVD沉积工艺与绝缘耐压性能[J];福州大学学报(自然科学版);2000年06期
3 廖清华,江风益,戴国瑞;PECVD淀积工艺及室温NO_x气体传感器[J];南昌大学学报(工科版);1992年03期
4 张心强;张维佳;武美伶;贾士亮;刘浩;李国华;;纳米硅薄膜制备及HIT太阳能电池[J];功能材料;2007年10期
5 陈长琦;赵晶晶;汪洪波;王君;;辅助PECVD的磁场模拟计算与分析[J];真空;2010年02期
6 刘丽琴;;晶体硅太阳能电池PECVD SiNx:H薄膜工艺研究[J];新技术新工艺;2009年12期
7 龚灿锋;杨德仁;王晓泉;席珍强;汪雷;阙端麟;;氮化硅薄膜对晶体硅材料和电池的钝化效果研究[J];太阳能学报;2005年05期
8 周美丽;陈强;岳蕾;葛袁静;;四甲基硅氧烷制备SiO_x低表面能薄膜[J];包装工程;2006年04期
9 杨景超;赵钢;邬玉亭;许晓慧;;PECVD氮化硅薄膜内应力试验研究[J];新技术新工艺;2008年01期
10 卢晓敏,汪雷,杨德仁;网络状氮化硼纳米棒的生长研究[J];真空科学与技术;2004年06期
11 陈治宇;吕知秋;张锦文;金玉丰;李婷;田大宇;王颖;;PECVDSiO_2/Si_3N_4双层膜驻极体性能[J];功能材料与器件学报;2008年01期
12 赵崇友;蔡先武;;PECVD制备氮化硅薄膜的研究[J];半导体光电;2011年02期
13 何乐年;PECVD非晶SiO_2薄膜的红外吸收特性研究[J];功能材料;2002年01期
14 王生钊;卢景霄;王红娟;刘萍;陈永生;张丽伟;杨仕娥;郜小勇;;H_2稀释在PECVD法制备微晶硅薄膜中的影响[J];可再生能源;2006年04期
15 田明明;毛龙满;张志杰;陈小兰;杨励君;;非晶硅薄膜太阳能电池生产的环境影响分析[J];科技信息;2010年22期
16 王晓泉,杨德仁,席珍强;多晶硅太阳电池用SiN薄膜的研究进展[J];材料导报;2002年03期
17 冯炜光;刘翔;储清梅;张鹏翔;;PECVD法制备硅太阳电池SiN薄膜工艺研究进展[J];云南冶金;2009年03期
18 刘洪祥,魏合林,刘艳红,刘祖黎;弱磁场对SnO_2薄膜性能的影响[J];功能材料;2001年06期
19 岳瑞峰;姚永昭;刘理天;;a-SiC_x:Hp-i结的电致发光[J];真空科学与技术学报;2006年04期
20 卢志安;迟晓红;赵国华;;非晶硅薄膜太阳能电池生产简述[J];玻璃;2008年12期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 徐翔;冯杰;王友年;;中性气体流动对PECVD放电过程的影响[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
2 米高园;朱昌;;傅里叶红外光谱法测量SiO_2薄膜计量比[A];第八届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2010年
3 俞晓正;沈志刚;;空心微珠表面镀二氧化钛薄膜的研究[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
4 张爱清;曾繁涤;黄德修;;聚对二氯苯对苯二胺的合成及其荧光性能[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
5 宋平;连洁;高尚;李萍;王晓;吴仕梁;马峥;;PECVD法生长SiO_2薄膜工艺优化[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
6 严德荣;何天白;;嵌段共聚物PE-b-PEP薄膜结晶形貌的研究[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2009年
7 任翔;顾锋;邵玮;李春忠;;纳米氧化钛异质阵列电极薄膜的水热合成及性能[A];颗粒学最新进展研讨会——暨第十届全国颗粒制备与处理研讨会论文集[C];2011年
8 李学;杨辉;张书香;赵淑英;褚国红;;利用嵌段共聚物/均聚物混合物的自组装构筑含有金属的嵌段共聚物纳米孔状薄膜[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2007年
9 高水英;曹荣;袁大强;;负载Ag纳米粒子薄膜的研究[A];中国化学会第26届学术年会超分子组装与软物质材料分会场论文集[C];2008年
10 房喻;;荧光传感薄膜的性能优化——单层化学方法[A];中国化学会第十二届全国应用化学年会论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陆利新;PECVD非晶硅薄膜制程工艺仿真建模[D];上海大学;2010年
2 杨光敏;碳纳米管、纳米金刚石、空心碳球及其复合物的PECVD制备和特性研究[D];吉林大学;2010年
3 王玫;β-SiC薄膜的低温沉积及特性研究[D];北京工业大学;2002年
4 刘建伟;等离子体增强化学气相沉积制备碳纳米管及其表征[D];吉林大学;2008年
5 何少龙;Yb-C_(60)填隙化合物电子结构研究[D];浙江大学;2004年
6 王应民;硅基和CIGS基ZnO薄膜生长及CIGS太阳能电池器件的研究[D];南昌大学;2006年
7 许英敏;等离子体增强化学气相沉积制备碳素/氧化锌复合材料及其特性的研究[D];吉林大学;2009年
8 韩喻;嵌套复式周期光子晶体结构的带隙模拟及制备方法研究[D];国防科学技术大学;2007年
9 李洪芹;赝配高速电子迁移率晶体管及其微波单片集成电路研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
10 徐慢;玻璃基太阳能电池薄膜材料制备及其结构和性能研究[D];武汉理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张云芳;PECVD法制备a-C:F:N薄膜的结构和稳定性研究[D];中南大学;2005年
2 赵晶晶;非晶硅薄膜太阳能电池材料PECVD关键技术研究[D];合肥工业大学;2010年
3 姜伟民;PECVD工艺条件对器件合格率的影响及其优化[D];复旦大学;2010年
4 刘洋;平板式PECVD设备布气系统的分析和优化[D];东北大学;2009年
5 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
6 邓兴汉;非晶硅锗薄膜PECVD法制备与特性研究[D];暨南大学;2010年
7 张会娟;PECVD多晶硅薄膜制备工艺和性能的研究[D];河北工业大学;2010年
8 张化福;TFT栅绝缘层用氮化硅薄膜的研究[D];电子科技大学;2005年
9 陈喜明;TiO_2薄膜光诱导超亲水性的研究[D];浙江大学;2005年
10 张檀威;SiO_2和Si_3N_4薄膜的PECVD沉积及在半导体光电子器件中的应用研究[D];北京邮电大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 孙文生 通讯员 张晓奇;新型“光生态薄膜”在杨凌研发成功[N];陕西日报;2010年
2 通讯员 钟伟 陈淼;“凯利包装”试产会“呼吸”的薄膜[N];绍兴日报;2009年
3 古月;艾利·丹尼森公司推出多用途高光白色PP薄膜[N];中国包装报;2009年
4 本报记者 那罡;为苏州昆岭薄膜增添绿色动力[N];中国计算机报;2010年
5 文报;佛塑股份开发复合智能节能薄膜[N];中国包装报;2010年
6 静蓉;AKT第七代PECVD预计明年中出货三星[N];电子资讯时报;2003年
7 记者 郝晓明;我国首台国产12英寸PECVD样机沈阳出厂[N];科技日报;2011年
8 吕军锋;薄膜表面极性火焰处理技术的原理及其特点[N];中国包装报;2009年
9 黄英;首条端对端薄膜硅电池生产线成功安装[N];中国企业报;2009年
10 张图;美国Pentapharm敏感药物包装薄膜生产线扩产[N];中国包装报;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978