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CVD与PVD涂层性能对比——国外有关论文简介

马吉平  
【摘要】: <正> 一、关于涂层残留应力的对比(1) 1、经过精密磨削的硬质合金基体表层具有较高的压缩残留应力,经PVD涂层后,涂层表面仍然具有压应力,其数值比基体原始状态稍小。 2、经过精密磨削的硬质合金在1273°K高温下进行CVD涂层时,基体的WC相残留

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