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连续波深紫外激光器

【摘要】:正 美国Lexel Laser公司生产的连续波深紫外激光器输出功率200mw,工作彼长分别为264,257,250,248,244,238和229nm。该激光器的谐振腔设计方案已申请专利。氩离子激光器具有最高的紫外发时效率。这些紫外光源可用于紫外喇曼光谱分析、半导体光刻、毛细电泳现象分析、干涉光学检验、光纤布喇格光栅以及微细加工等。

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