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4束激光干涉测量法

吴桂英  
【摘要】:正 日本国家计量研究室研制成功显微镜三维坐标测量用的4束激光干涉测量仪,本文阐述了仪器的工作原理、三维坐标的计算方法和实验结果。 采用4束干涉仪可以精确地测量装在载物台上角反射镜角点的位置,只用4束干涉仪

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