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用于激光防护非逆向反射双层闪耀光栅的研究

吴博琦  董连和  孙艳军  冷雁冰  王丽  
【摘要】:提出一种用于激光(工作波长为1 064nm)防护的非逆反射双层闪耀光栅。以光栅方程、闪耀波长和闪耀角关系公式为基础,研究了双层闪耀光栅光线分布特性,分析了上下微结构闪耀角度关系;设计了双层闪耀光栅各特性参数,其上、下层光栅闪耀角分别为50°和6°,周期均为5.2μm,光学元件厚为0.5mm,在下表面镀Ag反射膜。采用反应离子刻蚀(RIE)技术制作双层闪耀光栅,通过轮廓仪进行测试。研究结果表明,双层闪耀光栅的光学特性受微结构形状误差影响较大,当光线垂直照射双层闪耀光栅时,出射光与入射光形成20°夹角,实现了激光非逆反射的目的。

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