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激光直接写入工艺的研究

李凤友  卢振武  张殿文  李红军  赵晶丽  丛小杰  翁志成  
【摘要】:本文介绍了四轴激光直接写入系统 ,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究 ,讨论了在不同离焦情况下 ,胶层内光斑的大小和强度分布 ,采用离焦的方法在光刻胶上刻画了周期为 2 0μm的线光栅和线宽为 10 μm的分划板 ,对实验结果进行了分析

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