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半导体激光退火

路福荣  
【摘要】:本文指导了半导体激光退火在国内外的进展概况、激光退火机理、不同波长激光退火的影响以及脉冲和连续波激光退火效果的比较。作为离子注入半导体生产工艺的"伴星",激光退火可能取代常规的高温退火而被采用。

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