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Zr_(0.5)Ti_(0.5)O_2纳米薄膜的光电性能

张海峰  张敏  阮圣平  孟凡旭  冯彩慧  徐洋  陈维友  张歆东  
【摘要】:采用溶胶-凝胶法制备了Zr0.5Ti0.5O2复合氧化物纳米薄膜,通过X射线衍射分析(XRD)、扫描电镜分析(SEM)、紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)和X射线光电子能谱(XPS)等方法对材料进行了表征.结果表明,纳米薄膜为Zr∶Ti原子比为1∶1的复合材料,薄膜表面平整、致密、光滑,皲裂情况较单纯的TiO2和ZrO2薄膜有明显改善;另外,由于Zr的掺入,薄膜在紫外光波段具有良好的吸收,吸收带较TiO2薄膜有明显的蓝移.通过标准的光刻剥离技术和磁控溅射技术在Zr0.5Ti0.5O2纳米薄膜上制作了叉指型的金属电极.在5 V偏压下,样品对可见光不吸收,对260 nm的紫外光有明显的光电响应,光电流与暗电流之比接近3个数量级.

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