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影响1.06μm光学薄膜激光损伤因素的实验研究

赵强  范正修  刘立明  范瑞瑛  黄日成  
【摘要】:本文对光学薄膜淀积过程中真空室的真空环境对薄膜激光损伤的影响作了理论与实验方面的分析。对分子泵、扩散泵真空系统及扩散泵+离子束辅助淀积(IAD)制备出的膜系样品所进行的损伤实验表明,分子泵系统制备出的薄膜显示出较高的损伤阈值。

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