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非晶碳化氢硅膜

贾正根  
【摘要】：非晶碳化氢硅是一种新型的光电导材料,它和掺氢非晶硅材料配合用作光电导靶,提高了摄象管的性能。本文主要综述了非晶碳化硅的应用、制造工艺及工艺参数对其材料性能的影响。

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