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反应离子束刻蚀进展概况报导

方友梅  
【摘要】:正 利用校准的离子束源来提供反应形式离子,由于在源内部淀积而很快使工作过程不能继续下去。它限于一或二次工作,至多连续工作几小时。已报导了相当大的刻蚀率和选择性,但实际上,要求经常清洗以消除枪内的聚合物,因此重复性差。

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