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利用白光扫描干涉测量表面微观形貌

刘晨  陈磊  王军  韩志刚  师丽丽  
【摘要】:由于激光显微干涉只能测量表面微观形貌的相对高度值,不能进行绝对测量,本文提出了白光显微干涉测量方法,研制了测量仪器,并对CCD像素格值和PZT进行了标定。该仪器以白光干涉理论为基础,利用空间频域算法计算白光干涉图零级条纹中心位置,根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面微观形貌。对被测工件表面进行了测试,试验结果表明:此系统可用于平面、台阶、薄膜、球面等三维微观形貌的测量。

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