利用白光扫描干涉测量表面微观形貌

【摘要】：由于激光显微干涉只能测量表面微观形貌的相对高度值,不能进行绝对测量,本文提出了白光显微干涉测量方法,研制了测量仪器,并对CCD像素格值和PZT进行了标定。该仪器以白光干涉理论为基础,利用空间频域算法计算白光干涉图零级条纹中心位置,根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面微观形貌。对被测工件表面进行了测试,试验结果表明:此系统可用于平面、台阶、薄膜、球面等三维微观形貌的测量。

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1	韩丹;;螺杆泵环空测井在油田的应用[J];中国新技术新产品;2010年02期
2	罗开玉;鲁金忠;尹纯晶;钟俊伟;姚辉学;张永康;;激光冲击LY2铝合金的薄膜性能[J];吉林大学学报(工学版);2010年02期
3	侯丹阳;;两信号相位差精确测量方法[J];今日科苑;2010年02期
4	杨江波;;电磁流量计的电磁干扰产生及其对策[J];民营科技;2010年01期
5	于莲芝;崔晓钰;佘国君;张世雷;;LiBr溶液浓度自动测量系统研制[J];实验室研究与探索;2010年01期
6	潘国荣;韩美艳;吴珺华;郭珊;赵鹏飞;;人牙咬痕三维重建与数字化分析[J];大地测量与地球动力学;2010年01期
7	赵海丽;王晓曼;姜会林;刘智;刘树昌;;基于液晶的激光偏振测量系统研究[J];仪器仪表学报;2010年02期
8	张彩霞;刘渭滨;叶强;;BEPCⅡ直线加速器束流位置探测器零点误差的测量[J];原子能科学技术;2010年02期
9	单永明;牛连平;;棱镜折射率测量方法的比较及改进[J];科技资讯;2010年04期
10	白海东;苗昌伟;;RTDS的原理及在铁路勘测中的应用[J];山西建筑;2010年08期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	朱显明;师汉民;张国良;孙光苏;邵汉林;;壳式管道管壁能量流测量原理[A];中国声学学会1999年青年学术会议[CYCA'99]论文集[C];1999年
2	廖福龙;李斌;;三种活血化瘀成分抗剪切应力诱导血小板聚集作用的实验研究[A];世界中西医结合大会论文摘要集[C];1997年
3	李朝建;宋文敏;;数字式传感器研究[A];首届全国称重技术研讨会论文集[C];1999年
4	范瑛;杨勋;徐镜廉;谭云;韦力凡;;贮氢材料抗粉化镀层[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年
5	袁道成;伏德贵;;圆弧测量误差分析[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年
6	于立强;翟宇彤;孙祥泰;;园管弯头流量计计算图表与公式[A];全国暖通空调制冷1990年学术年会资料集（上）[C];1990年
7	郑晓明;;谈制浆造纸中的浓度测量及其应用[A];中国造纸学会第八届学术年会论文集（下）[C];1997年
8	胡卫建;龚倩;王志敏;张恩荣;;振弦式地壳钻孔应变仪测量量的力学特性[A];1991年中国地球物理学会第七届学术年会论文集[C];1991年
9	王丽华;孙正江;;岩石样品破裂过程中的介电常数[A];1993年中国地球物理学会第九届学术年会论文集[C];1993年
10	陈益惠;黄大伦;高法成;;绝对重力变化的观测研究[A];1995年中国地球物理学会第十一届学术年会论文集[C];1995年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	李文龙;大型齿轮在机测量原理及技术的研究[D];大连理工大学;2000年
2	方卓毅;基于辐射吸收的火焰温度计算机断层扫描摄影测量研究[D];浙江大学;2001年
3	郭黎滨;大直径在线测量关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2003年
4	金文光;小信号混沌动力学测量研究[D];浙江大学;2003年
5	张尧禹;车载平台变形测量和误差校正技术的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2003年
6	翟永清;纳米无机非金属材料的合成、表征及性质研究[D];河北大学;2003年
7	姚宝国;天线罩几何参数测量原理及关键技术研究[D];大连理工大学;2003年
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10	陈小林;GH4145/SQ高温低周疲劳特性及疲劳参数对寿命预测的影响[D];浙江大学;2002年

中国重要报纸全文数据库

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1	本报记者;我国第一把电子水平尺在湘下线[N];湖南经济报;2000年
2	北京施珍珠;利用数字电压表测量脉冲占空比的方法[N];电子报;2001年
3	湖北叶启明;用数字万用表测量电感的方法[N];电子报;2001年
4	成都达维电子应用技术研究所;M2000型电子万用表测量原理[N];电子报;2003年
5	祝海林;流量测量方法及仪表选择[N];中国化工报;2004年
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8	李红斌;探析电子式电流互感器发展趋势[N];中国电力报;2006年
9	晓杰;新型齿轮在线测量机面世[N];中国工业报;2006年
10	;GPS和GPS/MET[N];中国气象报;2006年

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