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正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用

张书练  谈宜东  
【摘要】:介绍了正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用,包括:1)正交偏振双频激光器,2)纳米激光测尺(基于频率分裂的激光器两偏振光竞争位移传感器)测量原理,3)直接利用波片形成频率分裂的波片位相延迟测量原理,4)激光回馈波片位相延迟测量原理。这些新应用的原理,结构简单,可溯源到光波长。如,纳米激光测尺已在应用中,测量范围12mm,分辨力79nm,线性度小于5×10-5,基于频率分裂的波片位相延迟测量系统重复性达到0.3′,而激光回馈波片位相延迟测量系统具有在线检测的优点。

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