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基于声表面波技术实现数字微流体多基片间输运

章安良  夏兴华  
【摘要】:建立了声表面波实现多基片间输运微流体的新方法。由3个1280YX-LiNbO3压电基片组成,一个基片为接口基片,另两个为工作基片,每个基片光刻一个中心频率为27.5 MHz叉指换能器和一个反射栅。采用微量进样器将待输运的数字微流体进样到工作基片2,调节接口基片使得其与工作基片2位于同一高度,并使其间隙尽可能小,在工作基片2的叉指换能器上施加声同步频率经放大后的RF信号,激发声表面波,驱动数字微流体到达接口基片。再采用类似方法将接口基片中数字微流体输运到工作基片1,完成两个工作基片间的输运。实现了不同工作基片上的数字微流体的混合及化学反应。

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