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离子注入石英玻璃光波导的研究

鲁平  范俊清  许承杰  李仪  
【摘要】:在熔融石英玻璃衬底上,通过注入氮离子和硼离子,制成了低损耗、单模平面光波导.波导的最大折射率和离子浓度分布的半宽度分别是1.48和0.5μm,波导损耗<0.1dB/cm.

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