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激光退火机理

波特  
【摘要】:正 自从苏联人开始研究激光退火以来,进行了许多工作去研究其现象,考查其用于半导体加工的潜力。此文中评述了激光退火用于处理离子注入产生的损伤,重长沉积的Si层,以及金属膜和半导体产生反应的机理。目前有两种不同的方法。一种是用脉冲或大功率激光器使材料熔融,另一种是用连续的小功率激光器使材料在固相中产生原子运动即所谓重长。

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