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掺氮对类金刚石薄膜场发射的影响

马会中  张兰  姚宁  李运均  毕兆琪  王小平  张兵临  胡欢陵  
【摘要】:利用脉冲激光沉积技术制备出了掺氮和未掺氮的类金刚石薄膜。采用X射线衍射仪、喇曼光谱仪、扫描电镜观察了掺氮和未掺氮类金刚石薄膜的微结构和表面形貌。场发射实验表明,掺氮降低了类金刚石薄膜的阈值电场,提高了发射电流密度。

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