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扫描电子束曝光机复合物镜的研究与设计

夏善红  朱协卿  
【摘要】:在综合研究已有的各种复合物镜(如移动物镜、变轴物镜和摆动物镜等)的基础上,本文对复合物镜的一般理论进行了探讨,推导了普遍化计算公式,并提出新的复合物镜(弯曲物镜)系统。采用解析函数近似表示系统场分布,对弯曲物镜系统象差进行了理论分析,并设计出一个实际系统。数值计算结果给出该系统在5×5mm~2扫描场内,束孔径角5mrad和能散2.5eV下,最大彗差0.005μm,横向色差0.001μm。

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