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基于隧道电流检测方式的原子力显微镜纳米检测系统设计

刘安平  郭红华  朱坤  覃国平  王斌波  
【摘要】:原子力显微镜(AFM)是当前进行材料表面微观形貌观察及分析的强有力工具之一。本文主要介绍一种隧道显微镜(STM)检测方式的原子力显微镜纳米检测系统(AFM.IPC-208B),该AFM系统设计是在STM.IPC-205B系统设计的基础上,采用隧道电流工作方式,将STM与AFM功能组合兼容。文章详细阐述了AFM.IPC-208B系统的设计原理、镜体、扫描控制以及数据采集。新设计的AFM.IPC-208B系统仍具有0.1nm的分辨率,检测范围为0~2mm×2mm,系统操作简易,工作效率高,与原STM.IPC-205B系统兼容,工作性能稳定可靠。

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