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薄膜断面微观结构的扫描电镜观察

万德锐  卢玉村  曾家玉  冯健清  
【摘要】:本文对薄膜微观结构的扫描电镜观察的实验技术进行了探讨,提供了具体的实验观察方法,并给出一组薄膜微观结构的扫描电镜照片。

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