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溅射法制备a-Si_xC_(1-x):H薄膜光电性能的研究

张仿清  张南屏  刘智  王印月  陈光华  
【摘要】:本文介绍了用溅射法制备的a-Si_xC_(1-x):H薄膜光学带隙和电导激活能与碳含量的关系,测量了所得样品的红外吸收谱、光电子谱及折射率。对所得结果进行了初步的讨论。

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