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热薄膜温差型CMOS风速风向传感器的研究和实现

程海洋  秦明  高冬晖  朱昊  
【摘要】:介绍了一种基于 CMOS,能同时测量风速风向的硅集成传感器。通过保持芯片和环境温差恒定在设定值 ,测量芯片上对称区域由于风强迫对流而引起的温差 ,利用二维结构同时获得风速风向信息。本文首先介绍热薄膜温差型风速风向传感器原理 ,给出了具体结构和工艺 ,最后对样品进行了风洞测试 ,传感器能够测量风速 0~ 2 3 m/ s且 3 60°方向敏感

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