收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微机电系统的研究与展望

陈勇华  
【摘要】:微机电系统(MEMS)是利用集成电路制造技术和微架构技术把微结构、微传感器、微执行器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS技术是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿技术。文中介绍了MEMS的范畴、分类、特点,综述了MEMS的发展历程和各国MEMS技术研发动态及产业现状,分析了MEMS技术目前存在的主要问题及关键技术瓶颈,探讨了MEMS技术的发展趋势及应用热点,对开展MEMS技术研究提供了有益的启示。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 金珠;温志渝;张智海;黄尚廉;;直梁结构光栅光调制器的机电特性分析与实验[J];纳米技术与精密工程;2010年01期
2 ;奇石乐扩展了其冲压力传感器系列[J];电机与控制应用;2010年01期
3 ;COMSOL Multiphysics推动铸造技术商业化革新[J];航空制造技术;2010年01期
4 王丽玲;郑丰隆;朱凯;姚明远;;基于C8051F310的综采支架压力检测分机设计[J];煤矿机械;2010年01期
5 曹恒;贺成坤;孟宪伟;凌正阳;;下肢外骨骼服传感靴的结构优化分析[J];工程设计学报;2010年01期
6 惠国华;陈裕泉;;基于碳纳米管微传感器阵列和随机共振的气体检测方法研究[J];传感技术学报;2010年02期
7 李伟;景占荣;张继光;黄爱萍;;虚拟训练动作获取系统软件设计[J];计算机仿真;2010年02期
8 安志军;赵志恒;邵晓明;;压力传感器自动检定系统[J];计量与测试技术;2010年02期
9 杨洪胜;姚进;杨振华;;多通道压力传感器自动校准系统研制[J];中国科技信息;2010年04期
10 肖贵贤;;用于气压测量的微弱信号检测电路[J];医疗装备;2010年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 焦连辉;吕进伟;;热轧带钢塔形问题分析及解决办法[A];全国冶金自动化信息网2010年年会论文集[C];2010年
2 蔡清水;张玉辉;曹建宇;;国丰热轧薄板厂1450热连轧活套控制系统[A];全国冶金自动化信息网2010年年会论文集[C];2010年
3 张继成;;材料的微细加工技术研究[A];中国工程物理研究院科技年报/2009年版[C];2010年
4 费民毅;沈仲元;;针刺穴位对高血压病的压力反射敏感性分析自主神经活性[A];第12届中国南方国际心血管病学术会议专刊[C];2010年
5 周用贵;冯化中;;高速铁道货车超偏载检测装置的设计与实现[A];称重科技——第九届称重技术研讨会论文集[C];2010年
6 袁明山;刘桂雄;;USBkey身份认证在虚拟仪器系统中应用[A];广州市仪器仪表学会2009年学术年会论文集[C];2010年
7 张安;刘国锋;;PLC在主井装载信号系统中的应用[A];创新·融合·发展——创新型煤炭企业发展与信息化高峰论坛论文集[C];2010年
8 王冬;冯继宏;;微型聚合酶链式反应仪综述[A];中国仪器仪表学会医疗仪器分会2010两岸四地生物医学工程学术年会论文集[C];2010年
9 何家明;方宪法;王光辉;王德成;;基于单片机的青贮打捆机自动控制系统设计[A];2010国际农业工程大会现代畜牧业装备创新与产业化分会场论文集[C];2010年
10 樊祥超;於志文;耿会东;王海鹏;周兴社;;基于压力传感器的用户饮食偏好获取及其应用技术研究[A];第六届和谐人机环境联合学术会议(HHME2010)、第19届全国多媒体学术会议(NCMT2010)、第6届全国人机交互学术会议(CHCI2010)、第5届全国普适计算学术会议(PCC2010)论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
2 郑冬云;基于碳纳米材料的一氧化氮电化学传感器的制备及生物医学应用研究[D];武汉大学;2010年
3 陶佰睿;镍/硅纳米线复合材料制备及应用研究[D];华东师范大学;2010年
4 袁华智;电控汽油/CNG两用燃料发动机故障模拟试验及诊断研究[D];长安大学;2010年
5 郭力;深厚表土中立井井壁水平侧压力不均匀性研究[D];中国矿业大学;2010年
6 陆学斌;多晶硅纳米薄膜压阻特性及其压力传感器应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 王利霞;基于处方图的变量喷药系统研究[D];吉林大学;2010年
8 刘华兴;被动声学测波新方法的实验研究及应用[D];中国海洋大学;2010年
9 夏全喜;车载组合导航系统关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
10 尹莉;微尺度下结构的静动力学行为研究[D];华中科技大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴澄;脑电信号采集干电极阵列研究[D];上海交通大学;2011年
2 王娟;新型电热微驱动器与双稳态机构的研究[D];上海交通大学;2011年
3 曹潇丽;低温流体汽蚀的CFD模拟及实验研究[D];浙江大学;2011年
4 赵晓霞;面向精化的表面微加工MEMS几何和工艺建模研究[D];华东理工大学;2011年
5 崔鸿璐;基于普适计算的老年人辅助系统[D];上海交通大学;2011年
6 段磊;“嵌入式”海洋地震拖缆控制器设计与研究[D];上海交通大学;2011年
7 秦奎;基于LabVIEW的静电悬浮微陀螺在环仿真系统研究[D];上海交通大学;2011年
8 张冠;声表面波微驱动器及其应用[D];上海交通大学;2011年
9 陈晖;微结构掩膜电铸均匀性研究[D];上海交通大学;2011年
10 周冬鑫;惯性运动捕捉前端设备研究与设计[D];浙江大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 刘霞;隐形眼镜的隐秘功能[N];科技日报;2011年
2 周文权;袋式除尘器检漏技术介绍[N];中国建材报;2011年
3 陈丹;世界首个毫米级计算系统原型问世[N];科技日报;2011年
4 刘;美国科学家研发出新型光纤传感器[N];中国电子报;2010年
5 成都 生为编译;Tekscan柔性薄膜网格状触觉压力传感器(上)[N];电子报;2010年
6 成都 生为 编译;Tekscan柔性薄膜网格状触觉压力传感器(下)[N];电子报;2010年
7 本报记者 刘霞;喂,你碰到我了[N];科技日报;2010年
8 陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
9 兰光实验室;对高透过率材料的阻隔性测试的几点建议[N];中国包装报;2010年
10 兰光实验室;高阻隔性材料的测试设备选择分析[N];中国包装报;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978