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MEMS工艺微热管传热性能的定量分析

谢晓强  戴旭涵  赵小林  丁桂甫  蔡炳初  
【摘要】:介绍了一种基于硅体加工技术以及阳极键合技术的微热管阵列。通过两种传热模型对微热管的性能进行了分析。利用传统热管理论及经典传热理论对传热性能进行定量计算,将传热过程逐步分解并建立传热模型,对热管热阻进行估算。这种较简易的分析模型可为热管设计提供初步的参考结果。再利用有限元法以同样的参数来模拟热管传热过程以得到更加精确的热阻及热场分布结果,采用An-sys软件来进行有限元的分析。

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1 谢晓强,戴旭涵,赵小林,丁桂甫,蔡炳初;MEMS工艺微热管传热性能的定量分析[J];电子机械工程;2005年05期
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