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表面分析在电子器件方面的应用

孙则  
【摘要】: <正> 本文论述俄歇电子谱,X-线光电子谱,离子散射谱和二次离子质谱的原理,并阐明它们在电子器件加工方面的应用。电子器件加工分成五个方面:1基片及其加工,2被膜,3刻图,4互连,(5兼容性。每个方面都给

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