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【摘要】:正《铁电薄膜材料及其应用》铁电薄膜是一类重要的功能性薄膜材料。本书系统介绍了铁电薄膜的概念、制备方法、结构、电性能和应用。全书共分6章:第1章介绍铁电体和薄膜的概念、分类;第2章介绍溶胶一凝胶法、磁控溅射法、脉冲激光沉积法、金属有机化学气相沉积法这四种制备铁电薄膜方法的历史、原理、装置、工艺参数、优缺点;

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