应用于MEMS的多孔硅的制备方法研究

【摘要】：采用化学腐蚀法、单槽电化学腐蚀法和双槽电化学腐蚀法来进行多孔硅的制备,通过对比这三种方法所制备多孔硅的表面形貌特征,发现双槽电化学腐蚀法与其它两种方法相比,具有孔径尺寸小(可达5~10 nm)、均匀性好、腐蚀深度大(可达几百nm)等优点,其制备的多孔硅更符合在MEMS中应用的要求。最后对双槽电化学腐蚀法中腐蚀时间及电流密度对腐蚀速率的影响进行了研究。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献论文一键排版服务>>

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	李平;李清山;张世玉;马自侠;;氧等离子环境下影响多孔硅光学特性的因素[J];激光与红外;2011年07期
2	;[J];;年期
3	;[J];;年期
4	;[J];;年期
5	;[J];;年期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	李东升;杨德仁;周成瑶;阙端麟;;多孔硅/Alq光电特性[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
2	王丹妮;李卓昕;秦秀波;王宝义;;多孔硅发光机理的正电子湮没研究[A];第十届全国正电子湮没谱学会议论文集[C];2009年
3	陈忠民;刘泽文;刘理天;李志坚;;用于衬底隔离的选择性氧化多孔硅厚膜的制备[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
4	吴恩超;许海洁;卜源;邱玮丽;马晓华;杨清河;;锂离子在多孔硅材料中的嵌脱行为研究[A];第十二届中国固态离子学学术会议论文集[C];2004年
5	贺月娇;李怀祥;郭成花;薛成山;肖淑娟;李国铮;;N型多孔硅光致红、绿、蓝发光的研究[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
6	李旦振;陈顺玉;付贤智;;多孔硅的光伏特性[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
7	李怀祥;贺月娇;郭成花;薛成山;刘桂荣;陈燕生;段淑贞;;区熔(氢)硅片为基底的多孔硅的光致荧光特性[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
8	陈顺玉;李旦振;付贤智;;制备工艺对多孔硅光伏特性的影响[A];2000'全国光催化学术会议论文集[C];2000年
9	方斌;李东升;赵岳;杨德仁;;多孔硅光子晶体制备的影响因素[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
10	李卓昕;王丹妮;秦秀波;王宝义;魏龙;薛德胜;;退火对多孔硅材料发光性能的影响[A];第十届全国正电子湮没谱学会议论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	刘卫丽;多孔硅外延层转移SOI新材料制备与改性多孔硅发光性能的研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2002年
2	赵岳;多孔硅的光电性能研究[D];浙江大学;2005年
3	龙永福;低损耗新型硅基厚膜材料及其在射频/微波器件中的应用[D];华东师范大学;2003年
4	窦雁巍;MEMS中多孔硅基本特性及绝热性能研究[D];天津大学;2005年
5	吕宇强;氧化钒薄膜材料及非制冷红外探测器微结构设计的研究[D];天津大学;2007年
6	蔡让岐;微波等离子体 CVD纳米金刚石场致电子发射研究[D];兰州大学;2002年
7	徐大印;模板及沉积在模板上的低维SiC及SiC：Tb材料的研究[D];兰州大学;2006年
8	蒋然;Hf基高k材料的物性表征[D];兰州大学;2007年
9	范茂彦;BST厚膜非制冷红外焦平面阵列结构及特性研究[D];华中科技大学;2009年
10	李聃;碳纳米管在硅基衬底上的化学气相沉积生长研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	李媛媛;掺铜多孔硅的光致发光及多孔硅的光电导特性研究[D];曲阜师范大学;2004年
2	赵毅;多孔硅与有机材料复合光电特性研究[D];浙江大学;2003年
3	郭成花;多孔硅复合ZnO和CdS纳米粒子的光致发光特性[D];山东师范大学;2003年
4	王晓静;多孔硅形成机理及其荧光特性的研究[D];曲阜师范大学;2003年
5	倪梦莹;多孔硅镶嵌染料发光及电致发光特性研究[D];曲阜师范大学;2004年
6	赵莉丽;多孔硅的形成及其光谱研究[D];曲阜师范大学;2000年
7	王清涛;多孔硅光致发光特性研究[D];曲阜师范大学;2002年
8	富笑男;Fe、Co、Ni、Mn钝化多孔硅的制备、表面形貌和光致发光研究[D];郑州大学;2001年
9	贺月娇;表面修饰N型多孔硅的光致荧光特性[D];山东师范大学;2001年
10	王兴;微电子机械系统中重要材料—多孔硅的制备和应用的研究[D];天津大学;2004年

中国重要报纸全文数据库

前2条

1	苏月琼;半导体材料新品迭出[N];中国电子报;2000年
2	申彦;电脑机密遭窃芯片吸“氧”自焚[N];大众科技报;2002年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南