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质量流量控制器的原理与维修

唐剑平  
【摘要】: <正> 质量流量控制器(Mass Flow Controllers:MFC)是一种精确控制气体流量的部件。实际上它包括质量流量控制(MFC)和质量流量计(Mass Flaw Me-ters:MFM)二部分。故有时将 MFC 称为 MFM。其原理如图1所示: 如图1所示,在气体通路的上方引出一毛细管旁路,在毛细管的二边用相同的热敏阻抗材料绕上相同阻值的加热线圈 R_1、R_2,R_1=R_2=R。质量流量控制器工作时在二绕组上加上相同的恒定电流加热,当管道内没有气体流通的情况下,该电桥平衡,检测点无电压差。一旦有气体流经 by pass 管路时,毛细管同样有一定比例的气体流过,气体在

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